使用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。可是石英监控有一个欠好的地方即是当膜厚添加到必定厚度后，振动频率不全然因为石英自身的特性使厚度与频率之间有线性关系，此刻有必要使用新的石英振动片。

极值监控法：当膜厚度添加的时候其反射率和穿透率会跟着起改变，当反射率或穿透率走到极值点的时候，就能够知道镀膜之光学厚度ND是监控波长（入）的四分之一的整倍数。

被检查的物件刚放入水中时，它的表面上可能出现气泡，如果抹去或捅破这些气泡它们不再出现的话，即可判断原来产生气泡的地方并没有漏孔。如果连续不断有规律的出现气泡，这个地方就有漏孔。

发现漏孔要及时做上标记。有大漏孔时，要先修补大漏孔后再进行小漏孔的检查。

检验是个细致活，任何细微的地方都可能是问题所在，都可能影响到镀膜的效果，因此在检查真空镀膜设备的过程中一定要注意以上的事项。

真空镀膜设备操作程序具体操作时请参照该设备说明书和真空镀膜机上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。

① 检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在"关"位置。

② 打开总电源开关，真空镀膜设备送电。

③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。